Ово је врста дестилације у окружењу високог вакуума, због разлике слободног пута молекулског кретања материјала, спроведена је у материјалу осетљивом на топлоту или у процесу дестилације и пречишћавања материјала са високом тачком кључања. Дестилација на кратком путу се углавном користи у хемијској, фармацеутској, петрохемијска, зачина, пластика, нафта и друга поља.